微量氧分析仪是一种常用的分析仪器，分为两种分析原理：分别为燃料电池法微量氧分析仪和氧化锆微量氧分析仪。
在进行氧含量分析尤其是微量氧分析时，由于空气中氧含量高达21％，故而如果处理不当极易造成对样品的污染和干扰，出现分析结果数据不正确。下面分析几点影响微量氧分析仪测定的因素：
1．泄漏。微量氧分析仪初次启用前必须严格检漏，只有在严密不漏的前提下才能获得准确的数据结果。任何连接点，焊点，阀门等处的不严密，将会导致空气中的氧反渗进入管道及氧分析仪内部，从而得出含氧量偏高的结果。
2．污染。在重新使用仪器时，首先要确认连接氧分析仪的取样管路时是否漏入空气，将漏入的空气吹除干净，尽量不使大量氧气通过传感器。
3．管道材质的选择。仪器管道的材质及表面粗糙度也将影响样气中氧含量的变化。一般不宜用塑料管，橡胶管等作为连接管路。氧气微氧分析仪通常选用铜管或不锈钢管，对超微量分析（指＜0.1ppm）则必须用抛光过的不锈钢管。
4．气路系统的简化及洁净。要求必须有效排除气路上的各种管件，阀门，表头等中的死角对样气造成的污染。因此，应尽可能简化气路系统，选用死角小的连接件等。避免使用水封，油封及腊封等设备，防止溶解氧逸出造成污染。只有这样才能保证系统洁净，所得数据准确。
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